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12英寸氮化鋁晶圓加熱盤
  • 12英寸氮化鋁晶圓加熱盤
產品名稱

12英寸氮化鋁晶圓加熱盤

加工精度 0.01mm
是否定制 按圖定制
粗糙度 Ra0.8
材料成分 AlN
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12英寸氮化鋁晶圓加熱盤(heater)

12英寸氮化鋁晶圓加熱盤是鈞杰陶瓷生產的又一款用于半導體設備上的重要陶瓷部件,目前該產品性能可完全比肩進口原裝件,經過國內多家設備廠商的實際使用,具備良好的熱導性,溫度控制均勻,能滿足晶圓加熱的需求。目前該產品的外形尺寸為Ø315*19mm,平面度0.01以內。

AlN氮化鋁陶瓷

12英寸氮化鋁加熱盤12inch AlN heater

8in AlN氮化鋁陶瓷 heater

氮化鋁陶瓷材料屬性

2021年全球面臨芯片短缺的局面,許多產品都無法正常供貨,導致這一現象的原因除了疫情的因素外還有許多地緣政治因素。正因如此,國內許多半導體制造行業開始在國內尋求替代方案,在這一背景下,許多用于半導體制造設備上的精密陶瓷零部件也開始將采購方向瞄準了國內。12英寸氮化鋁晶圓加熱盤就是在這樣的背景之下被帶動起來的,目前國內能夠生產該產品的廠商還屈指可數,鈞杰陶瓷在這一領域有著豐富的制造經驗,截至2022年1月初,我公司以為市場供應了超過60片該型產品。

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